3M™ Trizact™ Pad Conditioner
- 3M ID B5005049057
Details
Eigenschaften
- Präzise gefertigte mikroreplizierte 3D-Keramikstrukturen, die mit CVD-Diamanten beschichtet sind
- Präzise gesteuerte mikroreplizierte Strukturen
- Gleichbleibende Leistung von Scheibe zu Scheibe und eine metallfreie Schnittfläche
- Ideal für fortschrittliche Prozesse die empfindlich auf metallische Verunreinigungen reagieren
Durch die Zusammenführung des Know-hows von 3M in den Bereichen Schleifmittel, Keramik und Mikroreplikation ist der 3M™ Trizact™ Pad Conditioner ein innovatives Produkt für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) in der modernen Halbleiterfertigung.
Spezifikationen
